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產品型號：HZD
更新時間：2024-11-11
廠商性質：工程商
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臨沂凈化車間-青島匯眾達工程施工企業
青島匯眾達凈化設備有限公司是一家專業從事空氣凈化工程及設備研發、設計、制造、安裝、維護于一體的科技企業，業務遍及食品飲料、日用品化妝品、光電光學、醫院工程、生物工程、實驗室等產業領域。凈化車間
匯眾達與您分享電子無塵車間凈化工程設計施工要求：
電子無塵車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，電子無塵車間凈化工程對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，電子無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
臨沂凈化車間-青島匯眾達工程施工企業
根據電子無塵車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型：循環空調機配合高效送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。
FFU循環系統的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產輔助區為集成電路制造廠務設備區域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。集成電路制造對電子無塵車間環境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環境下，凈化車間設計施工，而化學機械研磨則只要求1000級的環境即可。
另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。
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